超纯氢气纯化和生产(>8N)—吸附剂技术

来源: 发布时间:2018-12-06
项目简介
  

电子信息、半导体、LED(Light Emitting Diode)照明和光伏发电产业的迅猛发展,促进了对超纯氢气(纯度>99.9999%)的强烈需求。但现有的超纯氢气主要通过昂贵的电解水技术进行生产,水电解设备和氢气生产成本都很高,而且氢气来源单一。为此,我们团队自主研发了超纯氢气纯化吸附剂新技术。

超纯氢气纯化吸附剂技术采用 催化氧化加吸附的工艺路线,能用于脱除氢气中的CxHy(x=1-30),CO, N2, O2, CO2 和H2O 等ppm 级杂质,将这些杂质浓度均降到1 ppb 以下,满足半导体及LED 生产等电子行业对超纯氢(>8-9N)的需求。该工艺操作简单,吸附材料可反复再生,使用寿命长,另外可以使用工业副产氢、天然气或氯碱气等廉价氢源,跟电解水相比显著降低成本,适合用于规模化工业生产。这项技术将来还能拓展到超纯氮及超纯氩等的生产中。

该技术已经申请国家专利。

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